일 반 사 양 서

1. 개요

이온밀링시스템은 주사전자현미경 분석을 위한 시편전처리 장치로서, Ar 이온빔을 이용하여 시료의 단면 및 평면을 매끄럽게 연마하는 용도로 사용되는 장비임. 본 장비는 XY stage를 이동하면서 최대 10mm까지 대면적으로 단면 가공이 가능하며, 대기비개방(Air Protection) 홀더를 통해 시료 준비와 가공 뿐만 아니라 SEM 챔버로 이송하고 관찰할 때까지 대기에 노출하지 않은 상태로 재료 고유의 형태를 분석할 수 있음. 또한, 이온빔에 의한 열데미지를 방지하기 위해 냉각시스템(Cooling Temperature)을 이용하여 가공 온도를 설정할 수 있고, 다양한 조건(가속전압, 가공영역, 반복작업 등)을 레시피로 설정하여 자동 가공이 가능함.

2. 소요시기(납품시기)

가. 2025년 7월 31일까지 납품완료(계약 시 협의 가능)

3. 성능보증

가. 공급자는 구매사양서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야 한다.

나. 공급자는 본 장비의 성능 검증을 위해 구매사양서 규격에 만족하는 결과물을 첨부해야 한다.

4. SYSTEM 종류 및 수량

가. Main Body 1 set

나. Optical Microscope for sample alignment 1 set

다. Sample stage for flat milling 1 set

라. Wide Area milling unit 1 set

마. Oil mist trap 1 set

바. Vibration proof-materials for R.P. 2 sets

사. Flexible tube 1 set

아. Service tool kit 1 set

자. Gloves 1 set

5. TEST

가. System이 Operating & Performance가 정상적으로 나오는지 여부

나. System이 본 사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부

다. 성능에 대한 검증 Test

1) 공급자는 최종 검사 시 Test를 실시하여야 하며, 기술원은 검증 Test 결과에 대하여 합격 여부를 판단한다.

6. 장비 설치 및 검수

가. 공급자는 장비공급과 셋업에 일정 준수를 하여야 한다.

나. 공급자는 최종 검사 시 규격 요구사항에 대한 검증시험을 실시하여, 그 검증 결과를 문서로 나노종합기술원 담당자에게 제출하여야 한다.

다. 나노종합기술원에 납품 후 설치된 사양(검증 결과 등)에 대한 Performance Test를 원칙으로 한다.

※ 공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반경비를 부담하여야 한다.

7. 제작기준

가. 본 장비는 신규 장비이어야 한다.(Refurbish 장비는 불가함)

나. 모든 설비는 "설비사전 안전인증제 기준"에 의거 설계, 제작 설치되어야 한다.

다. Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다한다.

8. SIGN OFF

가. Set-up 완료 보고서는 당사의 최종 승인일을 기준으로 한다.

9. WARRANTY

가. Warranty 기간

1) Acceptance Test 보고 완료일 익일부터 1년으로 한다.

나. Warranty 기간 중 발생한 고장(단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외)에 대해서는 공급자 측에서 Parts와 Labor를 무상으로 제공 및 수리하여야 한다.

10. 동작조건

가. 구매사양서 규격 기준으로 한다.

11. 교육

가. 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 교육을 실시하여야 하며, 교육 및 기술지원을 다음과 같이 하여야 한다.

① On-site training

- 공급자는 납품설치 후 장비운영에 필요한 교육(프로그램)을 실시한다.

- Maintenance & Diagnostics 교육 2회(나노종합기술원 설치장소 또는 공급자 제조공장)

- Operating 교육 2회(나노종합기술원 설치장소)

② 교육 상세 내용

- 시스템 운용

- 기본 유지보수 방법 / 예방정비 / 시스템 진단법

- 고급 기능 활용 방법

③ 장비 설치 및 보수에 필요한 부속품과 필요 특수공구 1 set를 무상으로 제공하여야 한다.

④ 교육 방법 : 이론 교육 및 시연, 실무 연습

※ 교육 및 기술지원에 따른 모든 제반 경비는 공급자가 부담하여야 한다.

12. 운송

가. 장비운송 시 Packing은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.

나. 장비는 Particle 오염이 안 되도록 하여야 한다.

다. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 한다.

라. 장비의 시험실 내 안착까지 반입 등 모든 경비는 모두 공급자 측에서 부담으로 한다.

13. 특기사항

가. 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에 의하여 결정한다.

나. 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로 기술원이 징수하며 이는 물품대금 지불시 공제한다.