HWP문서[공고문] 2025년도 SBID사업_수요연계 양산기술 개발사업_공고문(수정).hwp

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2025년도 테스트베드 소재부품장비 공동기술개발사

(수요연계 양산기술 개발사업) 신규과제 공고

나노종합기술원 테스트베드 소재부품장비 공동기술개발사업(SBID 사업)의 신규과제 선정계획을 아래와 같이 공고하오니 직원 및 반도체 소재부품장비 기업 분들의 많은 관심과 참여 바랍니다.

2024년 12월 5일

나노종합기술원장 박 흥 수

1. 대상과제 개요

가. 사업개요

내역사업명

세부사업명

'24년 사업비

선정과제수

테스트베드 소재부품장비 공동기술개발사업

수요연계 양산기술 개발

300백만원

10개

나. 사업목적

ㅇ 반도체 테스트베드 기반의 수요연계 양산기술개발 및 성능평가(개선), 차세대 선행기술 개발을 통해 신속한 국산화 및 경쟁력 확보

세부사업명

사업목적

수요연계

양산기술개발사업

반도체 테스트베드 팹설비를 활용하여 수요연계 반도체 재부품장비 제품의 양산시제품 기술개발 및 성능개선, 산적용 평가 기술지원을 통하여 반도체 소재부품장비 제품의 신속한 국산화 및 경쟁력 확보 지원

다. 지원대상 기술

세부사업명

지원대상기술

수요연계

양산기술개발사업

TRL 6~8단계 기술로서 나노종합기술원 보유 테스트베드 팹시설을 주로 활용하여, ②1년 또는 2년 이내 양산용 시제품 제작 및 수요기업 양산적용 평가가 가능한 반도체 소재부품장비 기술

ㅇ 반도체 소재부품장비 상용화 기술 (자유공모)

2. 지원규모 및 내용

가. 지원규모 및 과제형식

ㅇ (지원규모) 10개 과제 선정

세부사업명

지원기간*

정부출연금

지원금액

선정과제수

참여기업

수요연계

양산기술개발사업

1년

('25.1월~'25.12월)

300백만원

내외/년

10개 내외

중소/중견/대기업

ㅇ (과제형식) 주관과제(나노종합기술원)-공동과제(참여기업 및 연구기관)로 구성

ㅇ (총사업비) 총사업비는 정부출연금(현금)과 민간부담금(현금/현물)로 구성

ㅇ (민간부담금) 국가연구개발혁신법 시행령 별표1, 정부지원연구개발비의 지원기준 및 기관부담연구개발비의 부담기준에 따라 매칭

나. 지원내용

ㅇ 반도체 소재부품장비 시제품 기술개발 및 시험평가, 신뢰성 검증 등 수요기업 양산시제품 개발 지원

차세대반도체 소재부품장비 기술분야 시작품/시제품 기술개발 및 시험평가, 선행기술 연구개발 지원

ㅇ 기술 개발에 필요한 연구시설장비사용료, 연구재료비, 연구활동비 등

3. 선정기술 및 신청자격

가. 선정대상기술 : 반도체 소재부품장비 상용화 및 선행기술 자유공모

세부사업명

지원대상기술

수요연계

양산기술개발사업

ㅇ 1~2년 이내에 양산시제품 제작, 수요기업 양산시제품 적용평가 및 소량생산이 가능한 수준에 있는 실체성이 있는 상용화 기술(TRL 6~8단계)

나노종합기술원 테스트베드 인프라를 활용하여 시제품 개발 및 성능개선이 가능한 기

나. 신청자격(과제책임자)

ㅇ (총괄)주관 책임자 : 나노종합기술원 정규직 연구원

ㅇ 공동 책임자 : 공동연구기관(산업계/학계/연구계 등) 책임자

ㅇ 참여기업 : 중소기업, 중견기업, 대기업 모두 가능

다. 참여제한 기준

(연구책임자) 기술원 직원은 당해연도 전체 출연금 연구사업에 과제책임자로 최대 2개까지 참여 가능

(참여기업)

전체 출연금 연구사업에 참여기업으로 최대 2개 초과 동시 참여 불가

동일 사업(OI, SBID 등)에 참여기업으로 1개 초과 동시 참여 불가

참여기업에서 기술원 출연금 연구사업으로 지원받은 개발내용과 유사한 내용으로 연속 참여 불가 (유사여부 평가위원회에서 결정)

라. 참여제외

연구책임자, 참여기업, 참여기업 대표자, 과제담당자 등이 신청 마감일 전까지 가연구개발혁신법 제32조에 의하여 참여제한 중인 경

ㅇ 휴업 중이거나 최근 2개 회계연도 말 결산보고서 부채비율이 500% 이상인 경우와 최근결산 기준 자본전액 잠식인 경우

4. 추진체계 및 역할 분담

가. 추진체계

(평가위원회) 과제 선정/연차/단계/최종평가를 위하여 내외부 위원으로 구성하는 평가위원회 운영

(총괄주관책임자) 나노종합기술원이 주관기관으로 기술원 소속 연구원이 총괄주관과제 책임자 역할 담당

(세부책임자) 주관-세부과제 구성 시 참여기관 및 참여기업의 연구책임자

(컨소시엄구성) 나노종합기술원, 참여기관(연구기관, 참여기업)간 협의 및 역할분담에 따른 컨소시엄(연구그룹) 구성

<테스트베드 소재부품장비 공동기술개발사업 추진체계>

나. 역할 분담

구분

사업수행 시 역할

성과활용

나노종합기술원

장비기반 테스트베드 임무 수행

장비/공정 서비스 및 시제품 제작 지

공정/분석기술 지원을 통한 양산공정 개발

연구성과 공동활용

연구성과(공정특허 등)의 기술이전

참여기업

연구기관

상용화 대상기술 제공 및 상용화 개발 목표 제안

상용화 기술 및 제품에 대한 수요기업 인증 등 제품화 추진

연구성과 공동활용

초기 매출달성 및 수요기업 인증 획득

기술이전 등

5. 평가절차

가. 평가 절차

ㅇ 제출 연구개발계획서에 대한 서면검토 후 발표평가 실시

사전검토

과제평가

과제선정

선정공고

협약체결

연구계획서 검토

(신청자격 등)

발표평가

(서면평가)

평가결과

종합보고

평가결과에 대한 선정 공고

선정과제 협약 체결 및 사업비 지급

인재·성과관리실

평가위원회

인재·성과관리실

인재·성과관리실

인재·성과관리실

평가일정 등은 내부사정으로 인해 일부 변경될 수 있으며, 변경시 별도안내

나. 평가위원회 구성 및 평가항목

(평가위원회 구성)연 관련분야 5인 내외 구성

- 평가의 객관성 및 공정성을 위하여 대상과제와 이해관계가 있거나 공정한 평가를 저해할 우려가 있는 전문가 제외

(평가방법) 서면검토 및 발표평가

- 발표평가는 주관연구책임자가 발표하는 것을 원칙으로 하며, 공동과제 연구책임자가 보완설명 가능

(평가항목 및 지표)

구분

평가 내용

배점

기술성(20)

보유기술 수준(TRL 단계) 및 창의성

10

기술개발 목표의 명확성 및 혁신성

5

기술개발 내용 및 추진체계(참여인력 등)의 적절

5

사업성(50)

대상기술 및 제품의 시장규모 및 성장가능성

10

참여기업의 사업화 의지 및 역량

15

사업화 목표 수준 및 구체성

15

사업화 추진전략의 타당성

10

NNFC 연계성 및 기대효과(30)

NNFC 장비/공정기술 연계성 및 협력계획

15

기술의 응용 및 확대가능성 (IP, 공정서비스)

15

합 계

선정평가계획 수립시 일부 평가지표 및 평가내용은 조정될 수 있음

6. 신청기간 및 신청방법

가. 공고 및 신청기간

ㅇ 2024년 12월 5일(목) ~ 2025년 1월 6일(월)

나. 제출서류

제출서류

비고

(필수) 연구개발계획서 1부(전자파일)

제공양식

(필수) 발표평가자료(PPT) 1부(전자파일) / 발표자료 프린트물 8부(스프링 제본화 ×)

자율양식

(발표자 발표당일 준비)

(필수) 기술사업화 협력 확인서 1부

제공양식

(필수) 연구과제 신청 사전 검토의견서(부서장) 1부

제공양식

(필수) 개인정보 제공 및 활용 동의서 1부

제공양식

(필수) 보안서약서

제공양식

(필수) 연구윤리 준수 서약서

제공양식

(필요시) 개발장비 소유권 확약서

제공양식

다 신청방법

ㅇ 신청방법 : 전자파일로 이메일 접수

ㅇ 제출 및 문의처 : 대전광역시 유성구 대학로 291 나노종합기술원 인재성과관리실 김경민 (042-366-2026, kkm@nnfc.re.kr)

접수마감 시한 내 도착분에 한하여 인정하며, 접수된 서류는 반환하지 않음

7. 향후 일정

ㅇ 신규과제 선정평가(예정) : 2025년 1월 20일 ~ 24일(예정)

ㅇ 협약체결 및 연구개시 : 2025. 2월 초 ~ 2월 중순

구체적인 평가방법 및 일정은 과제 접수 후 통지 예정

8. 관련 적용 규정

사업추진과 관련하여 본 공고에서 정하지 아니한 사항은 아래 관련규정을 적용

-「나노종합기술원의 규정 및 지침

-「국가연구개발혁신법령

-「과학기술정보통신부 소관 과학기술분야 연구개발사업 처리규정

9. 사업 및 지재권 관리 기준

ㅇ 본 사업은 3책 5공 제외 대상사업이며, 참여연구원의 최소 인건비계상률은 5% 이상으로 함. 단, 공동과제 연구책임자 및 참여연구원의 인건비계상률 기준은 상기내용을 따르되, 소속기관의 별도관리기준이 있는 경우 해당기준 준수

ㅇ 주관과제 연구비는 나노종합기술원에서 관리 및 집행하며, 연구수행에 따라 취득되는 유형자산은 나노종합기술원에게 귀속됨. 공동과제(연구비 지급) 연구비는 수행기관에서 관리 및 집행하며, 연구수행에 따라 취득되는 유형자산은 수행기관에게 귀속됨(나노종기원 귀속 필요 시 장비 소유권 확약서 필요)

ㅇ 주관과제 수행과정에서 발생하는 지식재산권은 나노종합기술원의 지식재산권 출원 및 관리절차에 따라 관리되며 나노종합기술원의 소유로 함. 다만 공동 발명의 경우 기여도 및 성과물의 성격 등에 따라 참여기관(세부과제 수행) 및 참여기업 협의하여 공동으로 소유할 수 있음(위탁기관은 공동 소유 불가)

10. 연구비 편성 등

출연금 사업 연구비 계상기준을 준수하며, 유의사항에 주의하여 연구비 편

ㅇ 연구비 편성 유의사항

- (직접비) 연구시설장비비-내부장비사용료는 출연금연구비의 40% 내외 계

- (간접비) 연구지원비-사업단관리비는 출연금연구비의 0.5% 계상. 다만, 총괄주관-세부과제가 구성된 경우 주관과제에 출연금연구비의 0.5% 계상

- (간접비) 성과활용지원비-지재권 출원등록비는 특허출원 목표 1건당 3백만원 내외, 과학문화활동비는 출연금사업 홍보를 위해 1백만원 계상

- (세부과제 연구비) 총 출연금연구비의 40% 이내로 구성하며, 협약 후 세부과제 수행기관으로 지급(평가위원회가 인정하는 경우 40% 초과 가능)

<연구비 편성 예시1 (주관-세부과제 형식)>

구분

출연금연구비

(천원)

주관과제 연구비

세부과제*

주관

총연구비

직접비

간접비

연구시설장비비

(출연금 40% 내외)

연구단

운영비

(총출연금 0.5%)

지재권 출원등록비

과학문화활동비

연구비 편성

300,000

180,000

72,000

1,500

3,000

(특허목표 1건당)

1,000

120,000

세부과제의 연구비 편성은 소속기관 규정에 따르되, 연구수당 및 간접비 비율은 나노종합기술원의 출연금사업 연구비 계상 기준 준수

ㅇ 참여기업 부담금 편성

- 참여기업은 기업 규모에 따라 세부과제 연구비의 일부를 부담하며, 이에 대한 사항은 국가연구개발혁신법령을 준용함

- 참여기업 현금 부담금은 출연금연구비와 합산하여 연구과제 전용계좌에서 관리 및 연구비 집행처리를 해야 함

- 나노종합기술원은 참여기업 부담금 편성 및 사용에 대한 세부자료를 요청할 수 있으며, 참여기업은 이에 대하여 성실하게 자료를 제출해야함

구분

정부지원 연구개발비의 지원기준(비율)

현금 부담

현물 부담비목

대기업

세부과제 연구비 총액의 50% 이하

부담금액의 15% 이상

(현물 부담 85% 이하)

인건비, 연구기자재 등

중견기업

세부과제 연구비 총액의 70% 이하

부담금액의 13% 이상

(현물 부담 87% 이하)

인건비, 연구기자재 등

중소기업

세부과제 연구비 총액의 75% 이하

부담금액의 10% 이상

(현물 부담 90% 이하)

인건비, 연구기자재 등

<정부지원연구개발비의 지원기준 및 기업의 연구개발비 부담 기준(요약)>

구분

총괄과제

총연구비

(백만원)

출연금연구비(백만원)

기업부담금(백만원)

세부과제

(참여기업) 연구비 총액

총연구비

주관과제

(나노종합기술원)

세부과제

(참여기업)

현물

현금

합계

수용연계 양산기술개발사업

340

300

180

120

36

4

40

160

<참여기업 부담금 편성 및 총연구비 산정 예시 중소기업 기준>

붙임 1. 연구개발계획서

2. 기술사업화 협력 확약서

3. 연구과제 신청 사전 검토의견서(부서장)

4. 개인정보제공 및 활용 동의서

5. 보안서약서

6. 연구윤리 준수 서약서

7. 개발장비 소유권 확약서 양식_장비개발과제용

8. 나노종합기술원 출연금사업 연구비 계상 기준