300mm 웨이퍼 전기도금 장비 제안요청서

2025년 1월

문 의	규격관련 : 첨단패키징개발센터 이주범 선임	042-366-1571
	계약관련 : 재무회계실 이광연 선임	042-366-2021

Ⅰ

제안개요

1. 장비명 : 300mm 웨이퍼 전기 도금 장비

2. 수 량 : 1 SET

3. 용도 및 필요성

가. Input/output signal의 통로 및 트랜지스터에 전기적 신호를 연결하는 배선에 구리 및 필요한 금속을 전기도금 방식으로 채우는 장비

나. BEoL(Back End of Line) 공정 시 배선, VIA(수직 통로), TSV(실리콘 관통 통로)에 구리를 도금하는 장치

다. 첨단 패키징 공정에 필요한 RDL(재배선층), Bump, Interposer의 구리, 니켈, 주석은 등의 금속을 도금하는 장치

라. 기본적으로 300mm 웨이퍼 공정이 가능하며, 휘어 있거나 본딩이 된 웨이퍼의 공정이 가능한 장치

4. 배정금액 : USD 5,500,000 (KRW 7,600,000,000)

가. 본 공고에 의한 계약은 원화 배정금액 범위 내에서 계약체결이 가능합니다.

5. 입찰정보

가. 입찰방식 : 제한경쟁(총액), 규격적합자 중 최저가

나. 분할납품 : 불가

다. 공동수급 및 하도급 : 불가

라. 입찰 참가자격 : 세부내용 공고서 참고

- 공고일 기준 최근 5년내 국내 IDM업체와 300mm 웨이퍼 전기도금 장비 계약(납품완료 기준) 실적을 1회 이상 보유하고 있는 업체

- 본 제안요청서에 기술된 내용 등을 완벽히 이해하고 구현할 수 있으며, 향후 설비의 유지보수 및 설비사용 교육, 훈련 등을 원활히 수행할 수 있는 업체

6. 납품기한

가. 납품기한 : 계약일로부터 ~ 2025년 12월 31일

나. 납품장소 : 나노종합기술원 2층 FAB(현장 설치도)

7. 하자담보책임기간 : 1년 이상(1년 이상 제공하는 경우 그 기간으로 함)

Ⅱ

일반사양

1. 소요시기(납품시기)

가. 2025년 12월 31일까지 납품 완료

2. 성능보증

가. 공급자는 구매사양서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야 한다.

나. 공급자는 본 장비의 성능 검증을 위해 구매사양서 규격에 만족하는 결과물을 첨부해야 한다.

3. SYSTEM 종류 및 수량

가. Plating module : 2 Cu chamber, 1 SnAg chamber, 1 Sn chamber, 1 Ni chamber

나. Support module : 2 Prewet chamber, 2 spin rinse & dry chamber, 2 Seal & contact maintenance chamber

다. Factory interface module : 2 Lordports EFEM, wafer aligner

라. Plumbing module : 7 Tanks (6 tanks > 110 liter, 1 tank > 50 liter)

마. Fully automated single wafer processing system

바. Electroplating control system

5. TEST

가. System이 Operating & Performance가 정상적으로 나오는지 여부

나. System이 본 사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부

다. 성능에 대한 검증 Test 및 결과 제출

- 공급자는 최종 검사 시 Test를 실시하여야 하며, 기술원은 검증 Test 결과에 대하여 합격 여부를 판단한다.

- 공급자는 장비를 이용하여 측정한 300mm wafer에서의 결과를 제출한다.

6. 장비 설치 및 검수

가. 공급자는 장비공급과 셋업에 일정 준수를 하여야 한다.

나. 공급자는 최종 검사 시 규격 요구사항에 대한 검증 시험을 실시하여, 그 검증 결과를 문서로 나노종합기술원 담당자에게 제출하여야 한다.

다. 나노종합기술원에 납품 후 설치된 사양(검증 결과 등)에 대한 Performance Test를 원칙으로 한다.

※ 공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반경비를 부담하여야 한다.

7. 제작기준

가. 본 장비는 신규 장비이어야 한다.(Refurbish 장비는 불가함)

나. 모든 설비는 관련법규 및 안전규정에 의거하여 설계, 제작 설치되어야 한다.

다. Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다한다.

8. SIGN OFF

가. Set-up 완료 보고서는 당사의 최종 승인일을 기준으로 한다.

9. WARRANTY

가. Warranty 기간

- Acceptance Test 완료일 익일부터 1년으로 한다.

나. Warranty 기간 중 발생한 고장(단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외)에 대해서는 공급자 측에서 Parts와 Labor를 무상으로 제공 및 수리하여야 한다.

10. 동작조건

가. 구매사양서 규격 기준으로 한다.

11. 교육

가. 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 교육을 실시하여야 하며, 교육 및 기술지원을 다음과 같이 하여야 한다.

나. On-site training

- 공급자는 납품 설치 후 장비 운영에 필요한 교육 (프로그램, 2회)

다. 제조사 training

- 장비 운영에 필요한 교육 (프로그램, 2인 / 5일)

라. 교육 상세 내용

- 시스템 운용

- 기본 유지보수 방법 / 예방정비 / 시스템 진단법

- 고급 기능 활용 방법

마. 교육 방법 : 이론 교육 및 시연, 실무 연습

- 교육 및 기술지원에 따른 모든 제반 경비는 공급자가 부담하여야 한다.

12. 운송

가. 장비운송 시 Packing은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.

나. 장비는 Particle 오염이 안 되도록 하여야 한다.

다. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 한다.

라. 계약상대자 소속 전문가(2인 이상)는 장비가 기술원에 도착할 때 반드시 장비 검수 및 점검에 참여해야 하며, 장비 설치 장소까지 이동하는 모든 작업을 관리 감독해야 한다.

1) 기술원 도착 후 설치 장소까지의 장비 이동 및 작업의 전문성을 고려하여 필요 시 계약상대자와 협의하여 장비 이동 전문업체를 선정할 수 있다.

13. 특기사항

가. 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에 의하여 결정한다.

나. 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로 기술원이 징수하며 이는 물품대금 지불 시 공제한다.

Ⅲ

계약 일반사항

1. 계약내용 및 이의의 해석

가. 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본 규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 나노종합기술원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다.

2. 계약상대자의 책무

가. 계약상대자는 물품(장비)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다.

나. 계약상대자는 시험장비 제작 전 나노종합기술원으로부터 제작도면의 승인을 득하여야 한다.

다. 물품(장비)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다.

라. 계약 후 납품된 물품(장비)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.

마 물품(장비)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.

3. 포장 및 운반

가. 포장은 운반 및 설치현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 장비 및 부품의 운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다.

나. 장비의 운반중 장비의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약상대자의 책임하에 이행하여야 한다.

4. 설치

가. 설치작업 이전에 반드시 지정된 설치장소에 대한 기초상태 등 제반여건을 사전 확인한 후에 기계를 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약상대자가 부담한다.

나. 계약 후 물품(장비)를 납품하여 설치 및 시운전시 계약상대자는 제품의 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다.

5. 안전대책 및 책임

가. 계약수행 과정에서 발생하는 계약수행 인력의 제반 안전사고 책임 및 행정적, 기술적 비용과 문제처리는 계약상대자 부담한다.

나. 계약상대자는 계약수행 인력의 작업 중 안전사고 예방에 관한 규정을 제정․시행하여야 한다.

다. 계약상대자는 납품 및 설치 과정의 안전관리 방안을 준비하여야 하며 이의 소홀로 발생한 문제는 계약상대자가 일체의 책임을 진다.

라. 계약상대자는 계약수행 인력에 대하여 근로기준법, 산업안전보건법, 산업재해보상보험법, 직업안전법 등 제반 법률상 사용자로서의 책임과 의무를 이행하여야 한다.

마. 계약 수행 중 발생한 모든 안전사고에 대한 책임(민․형사상)은 계약상대자에게 있다.

6. 보안 유지

가. 계약상대자는 공고문, 규격서 등 공개된 문서 내용 외에 계약수행 과정 중 취득한 각종 정보를 나노종합기술원의 승인 없이 소유 또는 외부 유출할 수 없다.

나. 보안 유지가 필요한 계약의 경우 비밀유지 대책, 보안각서 등 나노종합기술원의 보안 요구사항에 응하여야 한다.

다. 계약상대자는 계약 수행 관련 자료를 납품 전까지 별도 보관함에 구분하여 보관토록 하고, 관리책임자 정․부를 지정하여 관리하여야 한다.

라. 계약상대자는 납품 및 설치 등을 위하여 나노종합기술원에 출입할 경우 작업지정 장소 이외의 공간에 출입을 금지한다.

7. 교육훈련(기술지도)

가. 계약상대자는 필요시, 시험장비의 운용이 가능하도록 사용법 및 기타 필요한 사항을 사용 담당자를 대상으로 납품 완료와 동시에 교육을 실시하여야 한다.

나. 교육 일정 등 세부적인 사항에 대하여는 나노종합기술원과 사전 협의하여 결정한다.

다. 장비 작동 매뉴얼은 납품 시 제출하여야 하며, 나노종합기술원의 검사담당자의 확인을 받아야 한다.

8. 시운전

가. 계약상대자는 시운전에 필요한 모든 사항은 준비한 시운전 계획 및 승인된 시험 점검을 위해 감독관 입회하에 시운전을 시행하여야 하며, 시운전 불합격 시는 즉각 결함부분을 시정하여 재시행하여야 한다.

9. 보증

가. 납품되는 모든 장비에 대하여 하자보증기간은 계약의 성격에 따라 납품 또는 검사검수 완료일 익일부터 1년으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치 공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우 계약상대자는 나노종합기술원에서 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구를 하여야 한다.

나. 하자보증기간 만료 후에도 계약상대자는 부품, 소모품, 기타 운용에 필요한 모든 부속장비 및 정비에 대한 나노종합기술원의 요구에 협의해야 한다.

10. 운용지원(AFTER SERVICE)

가. 계약상대자는 제작 공급한 장비에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After Service)을 위하여 지원체제를 갖추어야 한다.

Ⅳ

제안서 평가 등

1. 평가개요

가. 본 평가기준은 ⌜국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률⌟ 등 공공기관의 입찰과 관련된 법령과 계약관련 규정 등에 의거하여 제반성능 및 기능, 제품규격, 납품능력, 신뢰성, 안정성, 확장성, 유지보수성, 제출자료 충실성, 환경 요구조건, 기술 적합성 등에 대한 제안서의 평가에 적용함

2. 제안서 평가기준, 적격자 및 낙찰자 선정 등

가. 제안요청서 및 제안서 평가표에 근거하여 평가를 실시함

나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음

다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정

라. 규격적격자 중 가격개찰결과 예정가격 이하로서 최저가격을 제시한 자를 낙찰자로 결정

마. 최저가격 제출자가 2인 이상인 경우에는 규격입찰서 평가점수의 고득점자를 낙찰자로 결정하고 규격입찰서 평가점수도 동일환 경우에는 추첨으로 결정

바. 규격적격자가 2인 이상인 경우로서 가격개찰 결과가 예정가격 이하로 입찰한 자가 없을 때는 당해 규격적격자를 대상으로 다시 가격 입찰을 할 수 있음

3. 평가방법 : 서면평가(예정)

가. 제안서 평가는 서면평가로 실시하며, 필요시 대면평가를 실시할 수 있음

나. 대면평가를 실시하는 경우 평가회 시간 및 장소는 추후 개별 통보함

다. 제안서 발표를 실시하는 경우, 사업관리자(PM)가 직접 제안서를 발표함

라. 제안서 발표는 제출한 제안서를 기초로 발표해야 하며, 제안서 내용과 상이할 시에는 평가위원의 동의를 얻어 감점 처리할 수 있음

라. 제안사항이 미흡하거나 객관적 증빙이 없는 경우 부적합으로 판정함

4. 제안서 효력

가. 제출기한 내에 미제출시는 제안 의사가 없는 것으로 처리하고, 제안된 자료는 일체 반환하지 아니함

나. 제출된 제안서의 내용은 나노종합기술원이 요청하지 않는 한 변경할 수 없음

다. 제안서에 제시된 내용(추가제안, 추가자료 포함)은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가짐. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선함

라. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대하여는 평가하지 않음

5. 유의사항

가. 제출된 제안서는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 입찰참가자의 부담으로 함

나. 평가기준 적용일은 입찰공고일 현재를 기준으로 함

다. 제안내용에 대한 확인을 위하여 추가자료 요청 또는 현지실사를 할 수 있으며, 입찰참가자는 이에 응하여야 함

라. 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 함

마. 제안서 기재사항을 입증할 수 없거나 허위로 작성한 사실이 밝혀질 경우 평가 대상에서 제외하며, 계약 후에도 제안서의 내용이 허위로 작성한 사실이 발견되거나 제안된 내용을 충족시키지 못할 경우 계약을 취소하고 이에 대한 손해에 대해서는 입찰참가업체가 책임을 져야 함

바. 제안 업체는 가능한 한 제안요청서에서 제시한 정보들의 정확성에 대해 스스로 확인할 것을 권고함. 나노종합기술원은 제안요청서나 기타 첨부 자료 상의 오류나 누락에 대해 책임을 지지 아니함

사. 사업자로 선정된 이후에 나노종합기술원과의 협의 없이 사양을 변경하여 납품하지 아니함

아. 과제 수행 완료 후 사업자의 사업 수행결과가 불량한 경우 향후 관련 사업의 참여에 제한을 받을 수 있음

자. 담합 등의 방법으로 입찰의 공정성을 해한 제안업체는 평가대상에서 제외되며, 계약 이후라도 계약파기, 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상 등 이에 상응하는 책임을 부담함

차. 제안요청서, 제안서, 계약서 등에 명시된 내용의 해석에 있어 그 뜻이 모호하여 의견을 달리할 경우 나노종합기술원과 협의하여 결정함

6. 비밀 및 보안 유지

가. 제안 참여업체는 제안서를 포함한 모든 문서를 낙찰자 결정시까지 대외비로 취급하여야 하며, 제안 참여업체 관계자 이외의 제3자에게 공개할 수 없음

나. 본 규격평가기준서 및 제안서의 전체 또는 일부를 제안서 제출외의 다른 목적으로 사용할 수 없음

다. 입찰 과정 중 취득한 각종 정보와 계약 이행과정 중 취득한 정보를 누설할 수 없음

라. 위 사항을 위반하여 문제가 발생한 경우 해당 업체는 이에 따르는 전적인 책임을 지도록 함

Ⅴ

제안서 평가기준

1. 평가기준

가. 평가항목은 평가기준(표)에 의함

나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음

다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정

제안서(규격‧기술) 평가기준
▣ 입찰건명 : 300mm 웨이퍼 전기도금 장비 ▣ 업 체 명 :
평가항목		평가기준(세부항목)	배점	평점
경영상태(10) (정량평가 : 붙임1)		기업신용평가등급(국내 대리점 기준) - 입찰참가를 대행하고, 계약 이후 장비의 설치 및 유지보수를 수행하는 국내 대리점 경영상태 평가	10
수행실적(20) (정량평가 : 붙임2)		장비납품실적 : 요구부서확인 - 실적기준 : 20건 (국내 IDM업체에 공고일 기준 최근 5년내 신규설비 납품 이력, 기존 설비 업그레이드 이력 등)	20
기술부문 (40) (붙임3)	제품규격 (공고규격과의 적합성)(20)	장비 및 시스템 규격의 적합성 - 일반사양서 및 구매사양서 기준 충족 여부	20
	기술능력(20)	장비 및 시스템 운영의 우수성 - 제안품 출시년도, 최신 성능 여부 - 운용 편의성, 보유 장비와의 호환성 등	10
		장비 성능 및 품질 보증성 - 장비 성능에 대한 객관적인 증빙 자료 - 안전성, 사용수명, 국내외 지재권 보유 여부 등	10
정책부문 (10)	국가기술 정합성(10)	국가 3대 주력 기술(반도체·디스플레이·차세대전지) R&D 전략 정합성 및 기업과 R&D 협력 확장성	10
관리부문 (20) (붙임3)	품질보증 사후관리	교육훈련 계획의 적정성 - 장비운영에 대한 교육훈련 내용, 충실도 및 횟수의 적정성	5
		품질보증 기간 및 계획의 적정성 - 품질보증 기간 및 계획의 적정성 평가	5
		유지보수 계획의 적정성 - 유지보수 계획서 상의 무상보증 수리내용, 사후관리 계획, 장애 발생시 대응 방안, 전문 유지보수 인력 및 경력 현황 등	10
합 계			100
평가의견

[붙임1]

경영상태 평가기준

신용평가등급			평점	점수
회사채	기업어음	기업신용평가등급
AAA, AA+, AA0, AA- A+, A0, A-, BBB+, BBB0	A1, A2+, A20, A2-, A3+, A30	AAA, AA+, AA0, AA-, A+, A0, A-, BBB+, BBB0	배점의 100%	10
BBB-, BB+, BB0, BB-	A3-, B+, B0	BBB-, BB+, BB0, BB-	배점의 80%	8
B+, B0, B-	B-	B+, B0, B-	배점의 60%	6
CCC+ 이하	C 이하	CCC+ 이하	배점의 40%	4

※ 등급별 평점이 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림함

[주]

1. 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위하는신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음 및 기업신용평가등급을 국가종합전자조달시스템에 조회된 신용평가등급으로 평가하되, 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 가장 최근의 신용평가등급이 다수가 있으며 그 결과가 서로 다른 경우에는 가장 낮은 등급으로 평가한다.

2. 신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다. 다만, 입찰공고일 다음날 이후에 발생 또는 수정된 자료는 평가에서 제외한다.

3. 주 1에도 불구하고, 합병 또는 분할한 자가 입찰공고일 이전에 평가한 신용평가등급이 없는 경우에는 입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 유효기간 내에 있는 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 합병 후 새로운 신용평가등급이 없는 경우에는 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 신용평가등급으로서 합병 대상자 중 가장 낮은 신용평가등급을 받은 자의 신용평가등급으로 평가한다.

4. 추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여한다. 이 경우 창업기업에 대한 확인은 「중소기업제품공공구매 종합정보망」에 등재된 자료로 확인하며, 창업기업확인서의 유효기간 내에 있어야 한다. 다만, 제안서 평가일 전일까지 발급된 자료도 심사에 포함하며, 이 경우 입찰공고일 이전 창업을 확인 할 수 있는 자료(법인인 경우 법인등기부상 법인설립등기일, 개인사업자인 경우에는 사업자등록증명서 상 사업자등록일)를 제출하여야 한다.(이하 창업기업에 대한 확인방법은 같다)

5. 공동수급체의 경우 구성원별 해당 점수에 지분율을 곱한 후 그 점수들을 합산하여 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다.

(예) (A사 점수×A사 지분율)+(B사 점수×B사 지분율)…

6. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 중소기업협동조합의 신용평가등급으로 평가한다.

[붙임 2]

수행실적 평가기준

평가등급	평점
100% 이상	배점의 100%
70% 이상∼100% 미만	배점의 80%
40% 이상∼70% 미만	배점의 60%
40% 미만	배점의 40%

[주]

1. 수행실적은 입찰공고 또는 제안요청서 등 입찰 관계서류에 따로 정한 경우를 제외하고는 계약일자 및 납품기한에 관계없이 이행이 완료된 시점을 기준으로 평가한다. 이 경우 입찰공고일에 이행완료된 실적도 평가에 포함하나, 입찰공고일 다음날부터 이행완료된 자료는 평가에서 제외한다.

2. 등급구간 및 구간별 평점은 위 표에 의하며, 필요하다고 인정되는 경우 입찰공고에 달리 정할 수 있다.

3. 입찰자는 수행실적 평가를 위하여 별지 수행실적증명원(총괄표)와 각 항목을 증명할 수 있는 수행실적증명서 등을 제출하여야 한다.

가. 국가기관, 지방자치단체, 기획재정부장관이 지정한 공공기관 또는 지방공기업법령 적용 기관이 발급한 수행실적증명서

나. 위 가목에서 정한 이외의 기관 또는 민간이 발주한 경우 발주자가 발급한 수행실적증명서, 계약서, 세금계산서(필요시 거래명세표 포함) 등을 첨부하여야 함

다. 위 가목과 나목에도 불구하고 한국소프트웨어산업협회장이 발급하는 소프트웨어사업 수행실적 확인서

라. 이행실적에 대한 입증책임은 입찰자가 부담하며 의무를 다하지 아니하여 실적확인이 어려운 경우에는 실적으로 인정하지 않는다.

4. 공동수급체의 경우 구성원별 실적에 지분율을 곱한 후 그 실적들을 합산한 실적으로 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다.

(예) {(A사 실적×A사 지분율)+(B사 실적×B사 지분율)…}에 대한 점수

5. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 해당계약을 이행할 출자 또는 분담업체의 실적으로 평가하며 4호의 평가방법에 따라 평가한다.

6. 합병, 분할, 사업양수도가 있는 경우 다음 각 호에 따라 실적을 평가한다. 이 경우 입찰자는 합병 전‧분할 전‧사업양도 업체의 실적증빙서류를 제출하여야 한다.

가. 합병 : 소멸 업체의 실적을 존속 또는 신설 업체의 실적에 합산하여 평가

나. 분할 : 분할 전 업체의 실적을 권리‧의무를 승계한 업체의 실적에 포함하여 평가. 다만, 시설, 기술자 등 요건이 필요할 때에는 이를 갖춘 경우에만 실적으로 인정한다.

다. 사업양수도 : 사업양도인의 실적을 사업양수인의 실적으로 포함하여 평가. 다만, 시설, 기술자 등 요건이 필요할 때에는 이를 갖춘 경우에만 실적으로 인정한다.

[붙임3]

기술 및 관리부문 정성평가기준

구분	세부평가항목	배점	평가기준
			A	B	C	D	E
기 술 부 문	◦ 장비 및 시스템 규격의 적합성 - 일반사양서 및 구매사양서 기준 충족 여부 등	20	20	18	16	14	10
	◦ 장비 및 시스템 구성의 우수성 - 제안품 출시년도, 최신 성능 여부 - 운용 편의성, 보유 장비와의 호환성 등	10	10	9	8	7	5
	◦ 장비 성능 및 품질 보증성 - 장비 성능에 대한 객관적인 증빙 자료 - 안전성, 사용수명, 국내외 지재권 보유 여부 등	10	10	9	8	7	5
정책 부문	◦ 국가 3대 주력기술(반도체·디스플레이·차세대전지) R&D 전략 정합성 - 반도체 핵심기술–공정기술 전략을 충족할 수 있는 성능과 확장성 보유 여부 ㅇ 반도체·디스플레이 부문 기업과 R&D 협력 확장성 - 국내 반도체·디스플레이 부문 기업과 공동 R&D 협력 및 소부장 테스트베드 연계성 등	10	10	9	8	7	5
관 리 부 문	◦ 교육훈련 계획의 적정성 - 장비 운영에 대한 교육훈련 내용, 충실도 및 횟수의 적정성	5	5	4	3	2	1
	◦ 품질보증 기간 및 계획의 적정성 - 품질보증 기간 및 계획의 적정성 평가	5	5	4	3	2	1
	◦ 유지보수 계획의 적정성 - 유지보수 계획서 상의 무상보증 수리내용, 사후관리 계획, 장애 발생 시 대응 방안, 전문 유지보수 인력 및 경력 현황 등	10	10	9	8	7	5
합 계		70

Ⅵ

제안서 작성 등

제안서 작성

가. 제안서는 기술평가 시 근거가 되는 자료이며, “제안서 목차”, “제안서 평가기준”을 참고하여 제안서 작성

나. 제안서는 제안서 목차 내용과 첨부양식을 포함하여 자유 작성

2. 제안서 목차

작성항목(목차)	작 성 방 법	비고
Ⅰ. 제안업체 일반	표지 포함 작성	[서식1]
1. 일반현황	ㅇ 제안사의 일반 현황 및 주요 연혁	[서식2]
2. 조직 및 인원	ㅇ 제안사의 조직 및 인원 현황을 제시	[서식3]
3. 경영상태	ㅇ 입찰공고일 이전 발급한 유효기간 이내 신용평가등급 확인서 원본 제시(국내 대리점 기준)	신용평가등급
Ⅱ. 기술부문
1. 제품규격(공고 규격과의 적합성)	ㅇ 장비 및 시스템 규경의 적합성 - 규격서상 장비 물품 구성 상세 제시 - 일반사양서 및 구매사양서 기준 충족 여부	[서식4] [서식5] 자유양식
2. 장비 및 시스템 운영의 우수성	ㅇ 장비 및 시스템 운영의 우수성 - 제안품 출시년도, 최신 성능 여부 - 운용 편의성, 호환성 등 - 관련 기술 특허 출원 등의 기술 개발 지속성	자유양식
3. 장비 성능 및 품질 보증성	ㅇ 장비 성능 및 품질 보증성 - 장비 성능에 대한 객관적인 증빙 자료 - 안전성, 사용수명, 국내외 지재권 보유 여부 등	자유양식
Ⅲ. 정책 부문
1. 국가 3대 주력기술 정합성 및 기업 R&D 확장성	ㅇ 국가 기술 및 R&D 전략 정합성 ㅇ 반도체·디스플레이·차세대전지 부문 기업과 R&D 협력 확장성	자유양식
Ⅳ. 관리 부문
1. 교육운련 계획의 적정성	ㅇ 교육훈련 계획의 적정성 - 장비운영에 대한 교육훈련 내용, 충실도 및 횟수의 적정성	자유양식
2. 품질보증 기간 및 계획의 적정성	ㅇ 품질보증 기간 및 계획의 적정성 - 품질보증 기간 및 계획의 적정성 평가	자유양식
3. 유지보수 계획의 적정성	ㅇ 유지보수 계획의 적정성 - 유지보수 계획서 상의 무상보증 수리내용, 사후관리 계획, 장애 발생시 대응 방안, 전문 유지보수 인력 및 경력 현황 등	[서식6] 자유양식
Ⅴ. 수행실적 등
1. 수행실적	ㅇ 공고일 기준 최근 5년내 국내 IDM업체와 300mm 웨이퍼 전기도금 장비 계약 실적 ㅇ 실적증명서 및 실적증명원 제시	[서식7]
2. 국내 대리점 신용등급확인서	ㅇ 국내 대리업체(점) 신용등급을 확인할 수 있는 공식 문서

3. 제안서 작성관련 서식

※ 제안서 작성관련 서식

서식 1. 제안서 표지

서식 2. 제안업체 일반현황

서식 3. 사업수행인력투입계획

서식 4. 세부견적서(Quotation Form)

서식 5. 사양(규격) 비교표

서식 6. 사후관리계획서(After Sales Service Plan)

서식 7. 실적증명서(총괄표) 및 실적증명원

[서식1]

『300mm 웨이퍼 전기도금 장비』 제 안 서

상기 입찰에 대한 제안서를 제출하며, 제안서 및 제출 서류가 허위인 경우 평가대상에서 제외 또는 계약을 해제하더라도 이의제기하지 않을 것을 확인합니다.

2025. 00. 00.

상 호 :

주 소 :

대표자 : (직인)

나노종합기술원장 귀하

[서식2]

회사소개서(일반현황 및 연혁)

※ 국내 대리업체(점) 기준

회 사 명		대 표 자
사 업 분 야
주 소
전 화 번 호
회사설립년도	년 월
근 무 인 원	00 명 (4대보험 사업장 명부 등록인원 기준)
주요연혁

※ 회사소개서 내용이 많은 경우 별지를 추가하여 작성가능합니다.

[서식 3]

사업수행인력투입계획

				사업 책임 기술자
				직책		성명
관리 부문책임자									납품 부문책임자
직책		성명							직책	성명

▣ 참여자 요약

연번	성명	직위	업무분야	비고
1
2
3
4
5
6
7
8
9

[서식 4]

세 부 견 적 서

QUOTATION FORM

연번 (Item No.)	부품명 (Parts)	설명 및 내역(Description)	원산지 (Country of Origin)	수량 (Q'ty)	가격(Price)(USD)
					단가	총가격
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
중량 및 선적항
총(예상)중량 및 용적
선적항
도착항		인천공항
납품조건
납품기한		2025년 12월 31일
인도조건		FCA
대금결제조건
보증기간

[서식 5]

사양(규격) 비교표

공고사양(규격)			입찰참가제품 상세규격
입찰건명 :			세부품목명
			제조사명
			모델명
※ 기술원 규격(입찰공고시 첨부된 제안요청서, 구매사양서 내용 전체) 그대로 붙여넣기 하며, 글씨 크기는 10point 로 조정하면 됩니다.			※ 응찰제품의 규격사항을 기재할 것 ① 본 비교표에 기재된 규격사항을 바탕으로 평가가 진행되므로 상세하게 작성해주시기 바랍니다. ② 기술원이 제시하는 구매사양서(좌측)와 관련된 규격사항을 전부 기재해주시기 바라며, 미표시 규격이 있을 경우 규격심사 부적격 처리될 수 있습니다. ③ 기술원이 제시하는 구매규격서(좌측)와 동일하게 작성하거나 ‘적합/유사’로만 표기한 경우, 서류 미비로 처리될 수 있습니다. ④ 본 규격비교표의 서식(글씨체, 글씨크기 등) 변경은 허용되지 않으므로, 본 서식을 그대로 활용하시기 바랍니다.
202 년 월 일
		상 호 명 :
				(사업자등록번호 : )
		대 표 자 :				(인)
		담 당 자 :				(인)
				(휴대폰번호 : ) (이메일주소 : )

[서식 6]

사후관리(A/S) 계획서

AFTER SALES SERVICE PLAN

Goods for Bid 입찰물품
Manufacturer 제조자명
Supplier 공급자명
Agent or Representative in Korea 국내 대리인/대표자	Name 성명			Tel, Fax No. 전화, 팩스번호				Address 주소
Person in charge of service 사후관리 담당자	Name 성명			Department 소속 부서				Tel, Fax No. 전화, 팩스번호
Number of inspections/Year 연간 검사횟수
	Parts No. 부품 번호	Description 특징			Quantity 개수		Unit Price 단가			Remarks 비고
List of major parts to be used for after sales service period 사후관리기간동안 사용예정인 부품목록
Service charge 사후관리 수수료	Yes □ No □	(If yes, specify labor cost per hour) (수수료가 있는 경우 시간당 인건비 기재필요)
Do you hold any previous contract for after sales service in Korea 국내에서 사후관리를 위하여 계약을 체결한 적이 있는지 여부	Yes □ No □	(If yes, identify and specify the same) (체결한 적이 있는 경우 해당 계약 기재필요)
Period of after sales service after Warranty Period 사후관리 기간 (보증기간 이후)	1 Year □		2 Year □			3 Year □			4 Year □
	More than 5 Years □

Signature 서명

Name of the Bidder 입찰자명

<Remark>

사후관리(A/S)계획서에는 계약물품이 정상적인 운영상태를 유지하기 위해 필요한 정기적인 예방정비, 장애복구, 장애보수 및 처리방법 등이 포함되어야 한다.

After Sales Service Plan should include regular preventative maintenance necessary for the contracted goods to maintain the normal operation, failure recovery, repair and handling of failure, etc.

[서식 7]

실적증명서(총괄표)

사 업 명	사업기간	계약금액	발주처	비 고
				신규장비 Set-up
				기존장비 업그레이드

◦ 실적증명서는 총괄표에 해당하며, 각 기재한 사업실적별 실적증명원 및 증빙자료 각 1부 첨부 필수

◦ 입찰공고일 기준 최근 유사용역 완료 실적을 연도순으로 기재(입찰 공고일 이전 용역수행 완료 실적에 한함)

◦ 하도급은 주관기관이 승인한 경우에 한하여 작성하며 비고란에 원도급 회사를 기재함

◦ 공동도급계약일 경우에는 계약금액란에 제안사의 지분만을 기재함

◦ 실적증빙은 발주사 발급의 실적증명 원본을 원칙으로 함

1. 공공기관 거래실적은 증빙자료 없이 실적증명원으로 제출 가능

2. 민간거래실적은 실적증명원 + 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료 첨부 필수. 실적증명원 상 금액과 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료의 금액 일치 여부 확인 필수

◦ 관련분야 여부는 발주처의 제출 서류를 기반으로 확인하며, 필요시 추가 서류를 요청할 수 있음

실적증명원
신청인	업 체 명 (상호)					대 표 자
	영 업 소 재 지					전화번호
	사업자 등록 번호
	증 명 서 용 도					제 출 처
공사 내용	물 품 명
	물 품 개 요
	계약번호	계약일자	계약기간		금 액		실 적		비 고
발급처	위 사실을 증명함. 년 월 일
	업 체 명 : (인) (전화번호 : )
	주 소 :
	발 급 부 서 :			담 당 자 :