과학기술정보통신부 공고 제2024 - 0901호
2024년도 반도체 글로벌 첨단 팹 연계 활용사업
(소부장실증평가지원) 신규과제 선정결과 공고
2024년도 반도체글로벌첨단팹연계활용사업(소부장실증평가지원) 신규과제 선정결과를 다음과 같이 공고합니다.
2024년 8월 30일
<주무부처> 과학기술정보통신부 장 관 유 상 임
<전문기관> 나노종합기술원 원 장 박 흥 수
□ 선정과제
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연구개발과제번호 |
과제명 |
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RS-2024-00442079 |
반도체 sub 10nm 미세패턴 형성을 위한 코팅방식의 금속 클러스터 EUV 포토레지스트 개발 |
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RS-2024-00462831 |
반도체 미세패턴 적용을 위한 극자외선 리소그래피(EUV) 포토레지스트 평가 |
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RS-2024-00446508 |
초미세패턴용 고감도 EUV 포토레지스트 개발 |
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RS-2024-00443582 |
3D Device향 차세대 Selective Wet Etch 공정설비 개발 |
□ 평가결과
ㅇ 평가결과 및 종합의견은 범부처통합연구지원시스템(https://www.iris.go.kr/)에서 개별적으로 확인 가능합니다([붙임 1] 참조).
□ 선정결과에 대한 이의신청 안내
ㅇ 이의신청의 내용
- 통보된 평가결과에 한정되며 평가위원, 평가방법 및 절차 등에 관한 사항은 신청 대상에서 제외합니다.
ㅇ 제출서류 : 이의신청서 온라인 입력 및 첨부자료*([붙임 2] 서식 참조)
* 평가결과서 및 주관연구개발기관 공문 첨부 필수
ㅇ 제출방법 : 범부처통합연구지원시스템*(IRIS, https://www.iris.go.kr)을 통해 온라인으로 제출(주관연구개발기관 승인 포함)
* IRIS R&D업무포털 > 과제평가 > 평가결과 이의신청
ㅇ 제출기한 : 2024. 9. 9.(월) 23:59:59 (주관연구개발기관 승인 포함)
※9.9.(월) 23:59:59까지 IRIS로 접수된 이의신청 건만 인정하며, 9.9.(월) 23:59:59 후에는 이의신청 접수시스템이 차단되므로 이의신청서 제출 불가
ㅇ 문의처
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소속기관 |
부서 |
성명 |
전화번호 |
이메일 |
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나노종합기술원 |
인재·성과관리실 |
이 규 정 |
042-366-2025 |
kjlee@nnfc.re.kr |
□ 선정결과에 대한 협약 안내
ㅇ 선정과제에 대한 연구비 및 협약체결 요령은 연구책임자 및 주관연구개발기관에 별도 통보 예정입니다.
붙임 1. 평가결과 조회 방법
2. 이의신청서 서식
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붙임1 |
평가결과 조회 방법 |
① 범부처통합연구지원시스템(https://www.iris.go.kr/) 접속 및 로그인 – R&D업무포털 클릭
② R&D 업무포털 內 과제평가-과제평가결과확인 클릭
③ 정부부처(과학기술정보통신부), 전문기관(나노종합기술원), 사업연도(2024) 선택 및 검색 후, 해당 연구개발과제명 클릭
④ 과제기본정보에서 평가결과 및 전문기관 종합의견 확인
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붙임2 |
이의신청서 서식 |
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210mm×297mm[(백상지(80g/m2) 또는 중질지(80g/m2)
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앞표지 작성 요령(작성 요령은 제출하지 않습니다) |
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1. 구분: 선정평가, 단계평가, 특별평가, 최종평가 중 해당 사항에 [√] 표시합니다. 2. 사업명: 해당 연구개발과제의 사업명을 기재합니다(연구자 직접 기재 불필요). 3. 내역사업명: 해당 연구개발과제의 내역사업명을 기재합니다(연구자 직접 기재 불필요). 4. 연구개발과제명: 연구개발기관이 수행하는 연구개발과제의 명칭을 기재합니다. 5. 연구개발과제번호: 연구개발과제별로 통합정보시스템을 통하여 부여된 번호를 기재합니다(연구자 직접 기재 불필요). 6. 연구개발기간 1) 전체: 연구개발과제의 전체 연구개발기간을 기재합니다. 2) 해당 단계: 연구개발과제가 단계구분이 있는 경우 해당 단계의 연구개발기간을 기재합니다. 7. 평가결과 통지일: 평가결과가 통합정보시스템을 통하여 공개된 날을 기재합니다. 8. 신청인: 이의신청 하는 당사자의 성명 또는 연구개발기관명을 기재하고 연락 가능한 전화번호, 전자우편, 거주지 주소(자택, 직장) 또는 소재지를 기재합니다. 9. 신청 대상 및 내용: 이의신청의 대상과 관련 내용 등을 구체적으로 기재합니다. 10. 신청 요지 및 이유: 이의신청의 구체적인 사유를 기재하고 이를 뒷받침하는 증거서류, 증거물 등의 제목 또는 명칭을 나열하여 기재합니다. |
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이의신청 첨부자료 |
[이의신청 세부 내용(온라인 입력내용 외 추가내용 작성 필요 시)]
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이의신청 세부 내용 |
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[붙임1(필수)] 통지된 평가결과서
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평가결과서 첨부 방법(첨부 방법은 제출 시 삭제) |
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ㅇ 범부처통합연구지원시스템(IRIS, https://www.iris.go.kr)에서 확인한* 종합의견을 캡처(또는 복사)해서 삽입 * 확인방법 : 범부처통합연구지원시스템(IRIS)에 로그인>[R&D업무포털] 클릭>[과제평가]>[과제평가결과확인]> 해당과제 종합의견 확인(과제검색 시 전문기관(나노종합기술원), 사업연도(2024) 선택) (상세 확인방법은 [붙임2] 참조) (예시) - 전문기관 종합의견 캡처 화면
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[붙임2(필수)] 이의신청 공문
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이의신청 공문 첨부 방법(첨부 방법은 제출 시 삭제) |
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ㅇ 연구책임자가 주관연구개발기관 담당자로부터 이의신청 제출 공문을 전달받아 IRIS 이의신청 등록 팝업창에 발송공문 정보*를 정확하게 입력하고, 공문을 캡처해서 동 이의신청 첨부자료에 삽입하여 제출 * 발송공문 문서번호, 발송기관명, 발송공문 제목 |
