일 반 사 양 서

1. 개요

가. Overlay Measurement System

- 오버레이 계측 장비는 웨이퍼 위로 쌓이는 각 층의 물질이 정확하게 정렬됐는지를 확인하는 장비임.

- 빛을 쪼이고 반사된 빛을 확인, 분석하는 방식.

- 층을 쌓을 때마다 이 장비를 통해 나노 단위로 오차를 파악하고 노광기 위치를 보정하는 장치임.

2. 소요시기(납품시기)

가. 2024년 12월 31일까지 납품완료(계약 시 협의 가능)

3. 성능보증

가. 공급자는 구매사양서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야 한다.

나. 공급자는 본 장비의 성능 검증을 위해 구매사양서 규격에 만족하는 결과물을 첨부해야 한다.

4. SYSTEM 종류 및 수량

가. Main System 1 set

나. Wafer loader/unloader 1 set

다. Wafer Pre-aligner 1 set

라. Wafer stage system 1 set

마. Optical system 1 set

5. TEST

가. 시스템의 동작 및 성능에 이상이 있는지 여부

나. 시스템이 본 사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부

다. 성능에 대한 검증 Test는 진행되었는지 여부

- 공급자는 제작 후 최종 검사 시 규격 등에 대한 검증 Test를 실시하고, 그 결과를 나노종합기술원에 문서로 제출하여야 하며, 나노종합기술원은 검증 결과에 대하여 합격 여부를 판단한다.

6. 장비 설치 및 검수

가. 공급자는 장비공급과 셋업에 일정 준수를 하여야 한다.

나. 공급자는 최종 검사 시 규격 요구사항에 대한 검증시험을 실시하여, 그 검증 결과를 문서로 나노종합기술원 담당자에게 제출하여야 한다.

다. 나노종합기술원에 납품 후 설치된 사양(검증 결과 등)에 대한 Performance Test를 원칙으로 한다.

라. 공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반경비를 부담하여야 한다.

7. 제작기준

가. 본 장비는 신규 장비이어야 한다. (Refurbish 장비는 불가함)

나. 모든 설비는 “설비사전 안전인증제 기준”에 의거 설계, 제작 설치되어야 한다.

다. Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다한다.

8. SIGN OFF

가. Set-up 완료 보고서는 당사의 최종 승인일을 기준으로 한다.

9. WARRANTY

가. 기간 : ACCEPTANCE TEST SIGN OFF 후 1년(12개월)

나. WARRANTY 기간 중 발생한 고장(단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외)에 대해서는 공급자가 부품과 인력을 무상으로 제공, 수리하여야 한다.

다. WARRANTY 기간 중 발생한 고장에 대해서는 통보받은 날로부터 1일 이내(단, 주말의 경우 차주 근무일부터 1일 이내)에 조치를 시작하여야 한다.

10. 동작조건

가. 구매사양서 규격 기준으로 한다.

11. 교육

가. 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 교육을 실시하여야 하며, 교육 및 기술지원을 다음과 같이 하여야 한다.

① On-site training

- 공급자는 납품설치 후 장비운영에 필요한 교육(프로그램)을 실시한다.

- Maintenance & Diagnostics 교육 2회(나노종합기술원 설치장소 또는 공급자 제조공장)

- Operating 교육 2회(나노종합기술원 설치장소)

② 교육 상세 내용

- 시스템 운용

- 기본 유지보수 방법 / 예방정비 / 시스템 진단법

- 고급 기능 활용 방법

③ 장비 설치 및 보수에 필요한 부속품과 필요 특수공구 1 set 를 무상으로 제공하여야 한다.

④ 성능향상을 위한 소프트웨어 업그레이드가 발생할 시 이에 대한 교육을 실시한다.

※ 교육 및 기술지원에 따른 모든 제반 경비는 공급자가 부담하여야 한다.

12. 운송

가. 장비운송 시 Packing은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.

나. 장비는 Particle 오염이 안 되도록 하여야 한다.

다. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 한다.

라. 장비의 시험실 내 안착까지 반입 등 모든 경비는 모두 공급자 측에서 부담으로 한다.

13. 특기사항

가. 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에 의하여 결정한다.

나. 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로 기술원이 징수하며 이는 물품대금 지불 시 공제한다.