일 반 사 양 서

1. 개요

능동형 자기장 상쇄기(Active Electromagnetic Field Canceller System : EMI Canceller System)는 외부의 자기장의 영향을 능동적으로 차단, 상쇄시키는 장비로써, 특히 전자현미경(Electron Microscopy, EM) 장비같이 고배율의 Scanning Beam을 사용하는 장비에 외부에서 발생하는 자기장에 대해 실시간으로 차단, 상쇄하여 장비에서 전자빔을 안정시켜 향상된 고배율 이미지를 얻을 수 있게 해주는 장치이다.

2. 소요시기 : 2024년 12월 31일까지(현장설치 완료)

3, 성능보증

공급자는 본 장치의 성능 검증을 위해 구매사양서 및 제안서 평가기준을 만족하는 결과물을 첨부해야 한다.

4. 장치 특성 및 기본 요구사항

1) 능동형 자기장 차폐기(EMI Canceller System)

- EMI AC + DC Cancelling System

- Display Unit : Gauss, Tesla(자기장 측정 단위 변경 가능해야함 – mG RMS, mG p-p, uT RMS, uT p-p, uTp-p, nTp-p)

- Display Screen : LCD monitor

- Display live EMI value(실시간 자기장 측정값이 Display되어야 함)

2) Sensor AC + DC

3) EMI Cables

4) Software

- Remote Control software inclusion(별도의 Software을 통해 EMI측정값이 실시간으로 Display 될 수 있는 Software)

- Remotely view and control an EMI Canceller System((Software을 통해 EMI Control를 조정 및 실시간 EMI측정값을 monitoring 할 수 있어야 함)

- Log the magnetic field readings to text file during the requested period(일정 기간을 실시간으로 측정 되어지는 EMI값을 저장하는 기능이 있어야 함)

5. Test

1) 능동형 자기장 차폐기의 Operation & Performance에 이상이 있는지 여부

2) 능동형 자기장 차폐기가 본 사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부

3) 성능에 대한 검증

항목	현미경실  (site survey결과)		상쇄 후		Remark
자기장 상쇄기	AC_X축	0.2uTp-p	AC_X축	0.03uTp-p	정상 가동중인 전자현미경룸에 설치 후 검증
	AC_Y축	0.1uTp-p	AC_Y축	0.03uTp-p
	AC_Z축	0.1uTp-p	AC_Z축	0.03uTp-p
	DC_X축 변화치	0.35uTp-p	DC_X축 변화치	0.003uTp-p
	DC_Y축 변화치	0.38uTp-p	DC_Y축 변화치	0.003uTp-p
	DC_Z축 변화치	1.3uTp-p	DC_Z축 변화치	0.003uTp-p

※ 성능 검증실시 후 자상 상쇄 후의 성능에 대한 결과물을 제출하여야 함

6. 검수

나노종합기술원에 납품 후 설치하여 사양(검증결과 제출 등)에 대한 PERFORMANCE TEST를 원칙으로 한다.

※ 공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반경비를 부담하여야 한다.

7. 제작기준

1) 본 능동형 자기장 상쇄기는 New 장비이어야 한다. (Refurbish 장비 불가함)

2) 모든 설비는 "설비사전 안전인증제 기준"에 의거 설계, 제작 설치되어야 한다.

3) SET UP시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임진다.

8. SIGN OFF

SET-UP 완료 보고서는 당사의 최종 승인일을 기준으로 한다.

9. WARRANTY

1) 기간 : ACCEPTANCE TEST SIGN OFF 후 1년

2) WARRANTY기간 중 발생한 고장(단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외)에 대해서는 공급자 측에서 PARTS와 LABOR를 무상으로 제공, 수리하여야 한다.

10 동작조건

일반사양서, 구매사양서 및 제안서 평가 기준을 만족하여야 한다.

11. 교육

1) 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 무상 교육은 1일 동안 실시한다.

2) Warranty 기간 내에 장비 성능향상을 위한 업그레이드 발생할 경우 별도로 교육을 무상으로 실시한다.

12. 운송

1) 장비의 운송용 PACKING은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.

2) 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 한다.

3) 장비의 실험실(지하)내 안착까지 반입 경비는 모두 공급자 측에서 부담으로 한다.

13. 특기사항

1) 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호협의에 의하여 결정한다.

2) 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로 나노종합기술원이 징수하며 이는 물품 대금 지불시 공제한다.