구 매 사 양 서

(COMMODITY DESCRIPTION)

물품분류번호	관세분류번호 HSK No.	품 명 및 규격서 DESCRIPTION	단위 UNIT	수량 Q'TY
41113706		반도체 소자 특성 분석기 (Semiconductor characterization system / Parameter analyzer)	대	1

1. 용도 및 특징

1) 반도체 재료 또는 반도체 공정 기반의 소자들의 전기적인 특성을 측정하고 분석하기 위한 장치

2) 소자의 전기적인 특성 측정과 분석의 정확성을 높이는데 유용한 장치

3) 소자들의 전기적인 특성을 도식화된 형태로 측정하고, 시스템에 실시간으로 자동 저장되는 장치

4) 스프레드시트 기반 데이터 분석 및 측정 그래프 구현, 대량의 경과 저장이 가능한 분석 장치

5) 윈도우 10 운영체제를 기반으로 쉽게 조작이 가능한 분석 소프트웨어를 가진 장치

2. 장비의 구성

1) 주장비 (Main frame)

가. Parameter analyzer 또는 Semiconductor characterization system 1 set

2) 주변기기 (Accessories)

가. IV 측정용 Source Monitor Unit (SMU) 4 set

나. SMU 분해능 증폭 모듈 4 set

다. CV 측정용 Capacitance measurement Unit 1 set

라. IV / CV 스위칭 모듈 1 set

마. 통합 구동 소프트웨어 1 set

3. 성능 및 규격

1) 파라미터 분석기 본체 (1개)

가. FHD 급의 해상도를 가지는 터치 스크린

나. 업그레이드 가능한 측정 모듈용 여분 슬롯 구성

다. USB, GPIB, HDMI, ETHERNET 출력 포트

라. 키보드, 마우스 조작 및 터치 스크린을 통한 직관적인 지유아이 기반 작동

마. 그래픽 디스플레이 및 분석 기능을 통해 프린트 및 데이터 분석을 지원. 이미지 데이터 또는엑셀 데이터로 추가 유틸리티 및 지원 보고서 생성

2). 중간 동력원 공급 및 측정 장치 (4개)

가. 전류 공급 범위 : 100 nA to 100 mA range (최대 전류 100mA)

나. 전류 공급 최소 분해능 : 5 pA at 100 nA range

다. 전류 공급 정확도 : 0.060% reading + 30pA at 100nA range

라. 전류 측정 최소 분해능 : 100 fA at 100 nA range

마. 전류 측정 정확도 : 0.050% reading +30pA at 100nA range

바. 전압 작동 범위 : -200 V to 200 V (최대 전압 210V)

사. 전압 공급 최소 분해능 : 5 μV at 200 mV range

아. 전압 공급 정확도 : 0.02% + 150 μV at 200mV range

자. 전압 측정 최소 분해능 : 1 μV at 200 mV range

차. 전압 측정 정확도 : 0.012% + 100 μV at 200mV range

카. 최대 출력 : 2.2 watts

파. DC 플로팅 전압 : 공통 단자는 새시 그라운드로부터 ±32V 플로팅

3) 원격 프리앰플리파이어 모듈 (4개)

가. 전류 공급 범위 : 1pA to 10nA range 의 5개 범위 확장 (MPSMU의 전류 범위 확장 모듈)

나. 전류 공급 최소 분해능 : 1.5fA at 1pA range

다. 전류 공급 정확도 : 1.000% + 40fA at 1pA range

라. 전류 측정 최소 분해능 : 100aA at 1pA range

마. 전류 측정 정확도 : 1.000% + 10fA at 1pA range

바. 전압 작동 범위 : -200V to 200V (MPSMU와 동일)

사. 전압 공급 최소 분해능 : 5 μV at 200 mV range

아. 전압 공급 정확도 : 0.02% + 150 μV at 200mV range

자. 전압 측정 최소 분해능 : 1 μV at 200 mV range

차. DC 플로팅 전압 : 공통 단자는 새시 그라운드로부터 ±32V 플로팅

4) C-V 측정 장치

가. 커패시터 측정 주파수 범위 : 1kHz ~ 10MHz

나. 커패시터 측정 범위 : 1pF ~ 1μF

다. 주파수 정확도 : ±0.1%

라. 전압 공급 레벨 : 10 mV ~ 1V rms

마. 전압 오프셋 공급 분해능 : 1mV rms

바. 전압 오프셋 공급 정확도 : ±(10.0% + 1 mV rms)

사. DC 전압 공급 레벨 : ±30V

아. DC 전압 공급 정확도 : ±(0.5% + 5.0 mV)

자. DC 전류 : MAX 10 mA

5) C-V I-V 스위칭 장치

가. 최대 전압 : 210V

나. 최대 전류 : 1A

다. 커패시터 측정 주파수 범위 : 1kHz ~ 10MHz

라. 오프셋 전류 : <1pA

마. 오프셋 전압 : <100μV

6) 반도체특성 분석 통합 시스템 소프트웨어

7) 기술지원 및 점검

가. 기술지원

나. 정기 점검

4. 참 조(기타조건)

1) 설치 완료 및 예비 테스트 후 1년간 무상보증기간을 제공하여야 한다.

2) 계약자는 장비의 설치와 사용법 교육을 사용자가 요청한 장소에서 수행하여야 한다.