일 반 사 양 서

1. 개요

가. 본 장비는 MEMS 소자 및 반도체 응용 소자의 encapsulation 공정을 위해 패럴린 고분자 박막을 제조하기 위한 장비이다.

나. 다양한 패럴린 기반 박막 제조를 위하여 다종의 이합체(dimer)에 적합한 원료 증발과 열분해가 가능하며, 조각시료부터 8인치 웨이퍼까지 대면적에 패럴린 박막 증착이 가능하여야 한다.

다. 다른 반도체 공정 장비와 결합이 가능하고, 연속공정을 위한 웨이퍼 이송을 위한 Pin up/down 기능이 가능하고 저온 및 고온 환경에서 증착이 가능하도록 온도 제어기능이 탑재된 지그 부품을 보유하여 나노종합기술원이 보유한 반도체 공정 장비와 상호 호환이 되어야 한다.

라. 본 장비는 터치패널과 공정 레시피 등록이 가능하여 다수의 유저가 쉽게 조작이 가능한 제어 시스템을 가지고 있으며, 스프레드시트 기반 공정 데이터 수집 및 그래프 구현이 가능하도록 하여야 한다.

2. 소요시기

2024년 12월 31일 (일정에 따른 변경 가능성 있음)

3, 성능보증

가. 공급자는 구매사양서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야 한다.

나. 공급자는 본 장비의 성능 검증을 위해 제안서(규격기술)을 만족해야 한다.

4. SYSTEM 종류 및 수량

1) 주장비 (Main frame)

가. 원료증발기/원료열분해기/증착챔버 및 시스템 제어 장비 1 set

2) 주변기기 (Accessories)

가. 콜드트랩 1 set

나. 진공펌프 1 set

다. 제품 안착용 지그 1 set

라. 웨이퍼 이송/안착용 지그 부품 1 set

5. TEST

가. System의 Operation & Performance에 이상이 있는지 여부

나. System이 구매사양서 및 일반사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부 다. 성능에 대한 검증 Test는 Requirement Spec 기준으로 한다.

6. 검수

가. 나노종합기술원에 납품 후 설치하여 사양에 대한 Performance test를 원칙으로 한다.

나. 장비 공급자는 나노종합기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고 정상 작동을 위해 요구되는 모든 조정을 수행하여야 한다.

7. 제작기준

가. 본 장비는 New 장비이어야 한다. (Refurbish 장비 불가함)

나. 모든 설비는 "설비사전 안전인증제 기준"에 의거 설계, 제작 설치되어야 한다.

다. Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다한다.

8. SIGN OFF

가. SET-UP 완료 보고서는 나노종합기술원의 최종 승인일을 기준으로 한다.

9. WARRANTY

가. Warranty 기간 : Acceptance Test Sign Off 후 1년 이상

나. Warranty 기간 중 발생한 고장 (단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외)에 대해서는 공급자 측에서 Parts와 Labor를 무상으로 제공, 수리하여야 한다.

10 동작조건

가. 구매사양서 기준에 부합

11. 교육 및 매뉴얼 제공

가. 장비 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 무상교육을 1회 이상 실시한다.

나. 사용자가 원활한 사용을 위해 추가 교육을 요청할 시에는 이에 대한 1회(1일 이상) 무상교육을 지원한다.

다. Warranty 기간 내에 성능향상을 위한 장비 업그레이드 발생할 경우 별도로 1회(1일 이상) 교육을 실시한다.

라. Warranty 기간 동안에 실시되는 교육 및 기술지원에 따른 모든 제반경비는 공급자 측에서 부담하여야 한다.

마. 시스템 운영 매뉴얼을 각 1부씩 제공하여야 한다.

12. 운송

가. 장비의 운송용 Packing은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.

나. 장비는 Particle 오염이 안 되도록 되어야 한다.

다. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 한다.

라. 장비의 Fab내 안착까지 반입 등 모든 경비는 모두 공급자 측에서 부담으로 한다.

13. 서비스

1) 하자 보증 기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 7일 이내 도착 후 48시간 이내에 원인 분석 및 대책 제공을 완료하여야 한다.

2) 제조사 검교정 서비스 요청이 가능해야 한다.

14. 특기사항

가. 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에 의하여 결정한다.

나. 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로 기술원이 징수하며 이는 물품 대금 지불시 공제한다.