구 매 사 양 서

COMMODITY DESCRIPTION

[품명(Description)] 300mm wafer용 오버레이 계측시스템 제진대 (독립 제진 기초 시스템 제작 및 설치 - 기존 제진대 이설 포함)
품목번호 Item No.	관세분류번호 HSK No.	정부물품분류번호	단위 Unit	수량 Q'ty
			System Set	1

᤾ 과업 일반사항

본 독립 제진 기초 시스템은 Overlay 장비의 바닥을 이루며 해당 장비의 바닥 진동 기준을 만족할 수 있는 독립 제진 기초 및 관련 부자재를 모두 포함한다. 독립 제진 기초는 주변 Access Floor 구조와 독립적으로 설치되며, 격자보 구조의 동적 강성 및 진동 환경을 최대한 유사하게 구현할 수 있다. 또한, 본 과업에서는 해당 정밀장비의 바닥 진동 기준인 VC-C 수준을 만족할 수 있도록 사전 진동 환경 평가, 독립 제진 기초 시뮬레이션 설계, 독립 제진 기초 구조 상세 설계, 독립 제진 기초 제품 제작 및 납품, 독립 제진 기초 현장 시공 (주변 Access Floor 구조 마감 포함.), 시공 완료 후 진동 평가 및 프로젝트 완료 보고서 작성 및 제출을 수행한다. 주 과업에 추가로 금번 독립 제진 기초 설치 위치에 기 설치되어 있는 제진대를 지정된 장소에 이설하는 업무를 포함한다.

᤾ 과업 요약

1. Overlay 장비에 대한 신규 독립 제진 기초 설계, 제작, 시공, 진동 성능 보증

- 프로젝트 완료 후, 상기 사항에 대한 최종 프로젝트 완료 보고서 작성 및 제출 포함

2. 기존 제진대에 대한 청정실 내 지정 위치 이설

᤾ 제진 기초 제품 구성

1. 제진대 (2,000mm×1,780mm / 유틸리티 타공 1개소 포함) : 1 Set

2. 제진대 하부 철골 기초 (Access Floor FL – 650mm) : 1 Set

3. 독립 제진 기초 주변 Access Floor Panel 마감용 자재 : 1 Set

4. 독립 제진 기초 시공용 소모성 자재 (볼트, 앙카, 에폭시 등) : 1 Set

᤾ 성능 및 규격

1. 독립 제진 기초 진동 성능 (이설 제진대는 제외)

1) 시공 전 제진 기초 설치 예정 위치 바닥 진동 환경 평가

2) 시공 전 진동 환경 평가 결과에 따른 제진 기초 진동 설계

3) 시공 후 제진 기초 진동 평가하여 장비 제조사에서 요구하는 VC-C 만족 여부 확인

- VC-C 초과 시, 보완 조치 진행하여야 하며 최종적으로 해당 진동 기준 만족 불가시 계약 사항에 대한 불이행으로 간주

4) 시공 완료 후, 사전 진동 평가 결과와 제진 기초 설계 결과, 시공 후 진동 평가 결과를 포함하는 프로젝트 완료 보고서 제출

2. 독립 제진 기초 규격

1) 제진대 크기 : 가로 2,000mm×세로 1,780mm

2) 제진 기초 높이 : 격자보부터 설치되어 주변 Access Floor 높이와 동일하도록 설계 및 시공

3) 제진대 타공 : 장비 유틸리티 배관 관통부 위치 및 크기 확인 후 설계 및 제작에 반영

4) 제진대 상부 마감 : 주변 Access Floor Panel 과 이질감이 없도록 전도성 타일 마감

5) 제진대 및 철골 자재 도장

- 제진대 측면 및 하부면 : 주변 구조물 색상과 이질감이 없는 색상 선정 후 액상도장 마감

- 철골 자재 : 주변 구조물 색상과 이질감이 없는 색상 선정 후 분체도장 마감

6) 제진대의 가로, 세로 크기를 제외한 나머지 독립 제진 기초의 자재 규격은 공급자의 진동 설계 결과에 따른 부재 선정하여 최종 규격 확정

- 제진대 두께, 철골 기초 구조 및 부재 크기, 주변 마감 부재 규격 등

3. 기존 제진대 이설

1) 기존 제진대 현황과 이설 위치 사전 확인하여 이설에 필요한 추가 자재에 대한 구매를 포함

2) 이설한 제진대에 대한 진동 성능 보장은 별도로 요구하지 않으나, 현재 시공 상태와 동등 또는 유사 시공 상태 (단차, 마감 상태, 수평도 등) 요청

᤾ 시공

1. 1층 외부 반입구 위치 및 반입 동선 사전확인하여 반입 장비 및 중장비 사용

- 중장비 사용 시, 사용자와 사전 협의 및 승인 득하고 사용

2. 반입 동선상 간섭물에 대하여 사전 협의하며, 반입 동선 협소할 경우에는 장비 진동 기준 보증이 가능하고 장비 운용에 지장이 없는 정도의 제진대 분할 설계 및 제작 가능

3. 제진 기초 시공 시, 기존 건축 구조에 대한 타공, 절단 등의 공정 최소화

4. 나노종합기술원 청정실 안전, 보건, 환경 규정에 부합하도록 조치 후 시공 진행

5. 주간 8시간 작업을 원칙으로 시공 일정 편성하며, 불가피한 연장 작업 필요시 나노종합기술원 담당자와 사전 협의 및 승인 득 이후 적법한 절차에 맞게 진행

᤾ 기타

1. 하자 보증 : 준공 검사일로부터 1년

2. 상기 구매사양서에 표기되지 않았으나, 사용자 및 공급자 상호 서면 협의된 사항은 유효