장비소개
고해상도 3D X선 단층 촬영 현미경 시스템
High-Resolution 3D X-ray Tomography Microscope System X-ray를 이용한 비파괴 방식으로 내부구조, 기공, 결함영역 등의 3D 가시화 또는 2차원 단면상 관찰/ 단면상을 재구성 하여 고분해능 3D 구조 분석 가능- 부품 소재/제품 등의 구조, Polymer의 기공 size, 세라믹 제품 및 복합소재, Crack/용접 부위, 마이크로 fiber composite 등의 이미징, 공정과정에서의 변화 (전/후) 등을 관찰
| 고해상도 3D X선 단층 촬영 현미경 시스템 | |
|---|---|
| Spatial resolution | 500 nm |
| Min. achievable voxel size | 40 nm |
| Resolution at a distance (50mm) | 1.0 ㎛ |
| Objectives | 0.4X / 4X / 20X / 40X FPX (Flat pannel extension) |
| Detector | Scintillated detectors with microscope objective lens |
| Resolution | HART (High aspect ratio tomography) |
| Scan type | Dual scan contrast visualizer (Dual energy) |